標準號：GB/T 16942-2009

中文標準名稱：電子工業用氣體 氫

英文標準名稱：Hydrogen for electronic industry

標準狀態：現行

本標準代替GB/T16942-1997《電子工業用氣體氫》。本標準與GB/T16942-1997相比主要變化如下:

--修改電子工業用氫的適用范圍(GB/T16942-1997的第1章,本版的第1章):

--修改規范性引用文件(GB/T16942-1997的第2章,本版的第2章); --修改技術指標內容(GB/T16942-1997的第3章,本版的第3章);

--修改電子工業用氫抽樣規則(GB/T16942-1997的4.1,本版的4.1.1、4.1.2): --修改電子工業用氫采樣要求(GB/T16942-1997的4.2,本版的41.3);

--修改氮、一氧化碳、二氧化碳含量的分析方法(16942-1997的4.4、4.6,本版的4.3); --修改總烴分析方法的檢測限(16942-1997的4.7,本版的4.5); --修改水分含量的分析方法(16942-1997的4.8,本版的4.7);

-修改標志、包裝、貯運及安全(GB/T16942-1997的第5章,本版的第5章):

---增加規范性附錄A，并把采用氦離子化氣相色譜法測定電子工業用氫中的氮、一氧化碳、二氧

化碳組分的方法寫人該附錄(見附錄A)。本標準的附錄 A為規范性附錄。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會氣體分技術委員會歸口。本標準起草單位:中國計量科學研究院、西南化工研究設計院。本標準主要起草人:周澤義、周鵬云。

本標準所代替標準的歷次版本發布情況為: -GB/T16942-1997